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真空爐的類型與工作原理
日期：2025-12-17 06:22
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摘要：
真空爐可以根據(jù)不同的加熱方式和應(yīng)用領(lǐng)域進行分類。按照加熱方式，真空爐主要可以分為電阻加熱真空爐、感應(yīng)加熱真空爐、電子束加熱真空爐、等離子加熱真空爐等。同時，真空爐的應(yīng)用領(lǐng)域也決定了其特定的設(shè)計和配置，如高溫真空爐、半導(dǎo)體真空爐、航空航天真空爐等。
真空爐的工作原理可以簡單概括為加熱+真空。真空爐的加熱方式取決于具體的加熱源，但無論如何，都要求在真空環(huán)境下進行加熱。真空爐的加熱工藝包括預(yù)熱、溫度保持和冷卻等多個步驟。
1. 真空環(huán)境
真空爐工作時需要在真空環(huán)境下進行，既可以減少工件表面的氧化，又可以防止雜質(zhì)的污染。通常采用機械泵和分子泵等設(shè)備將爐腔抽成所需真空度。
2. 加熱源
真空爐的加熱源有電阻加熱器、感應(yīng)加專線圈、電子束發(fā)射器等。通過控制加熱源的工作狀態(tài)和功率，可以實現(xiàn)對工件的**控溫。
3. 加熱工藝
真空爐的加熱工藝包括預(yù)熱、溫度保持和冷卻等多個步驟。預(yù)熱是將工件逐漸升溫至設(shè)計溫度的過程，溫度保持是將工件在所需溫度下保持一段時間，以達到理想的熱處理效果。冷卻是使工件迅速冷卻到室溫的過程。